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快速热退火设备的腔体的漏氧及温度监控的方法及系统.pdfVIP

快速热退火设备的腔体的漏氧及温度监控的方法及系统.pdf

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    本发明公开了一种快速热退火设备的腔体的漏氧及温度监控的方法及系统，其中方法包括以下步骤：将放入Ti片的腔体升温至723℃～727℃，保持50至70秒；测量Ti片的方块电阻的阻值和方块电阻阻值的均匀性；判断Ti片的方块电阻的阻值是否大于等于3.3Ω/方块且小于等于10Ω/方块，并且判断所述Ti片的方块电阻的阻值的均匀性是否大于等于2.65％且小于等于26％；若是则腔体不漏氧且温度准确。本发明使用一片Ti片SPC快速升温至工艺温度保持短暂时间，测量Ti片的方块电阻的阻值和方块电阻阻值的均匀性即可得出

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113314434 A (43)申请公布日 2021.08.27 (21)申请号 20201

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