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        本申请公开了一种位置校正方法。位置校正方法用于校正工件的位置,工件形成有第一标记及第二标记,位置校正方法包括:利用第一成像装置以第一视场拍摄第一图像,且利用第二成像装置以第二视场拍摄第二图像,其中,第一视场小于第二视场;判断第一图像内是否包括第一标记的图像;若是,依据第一标记在第一图像内的位置,计算工件的一级位置偏差,及依据一级位置偏差对工件的位置进行第一校正;若否,判断第二图像内是否包括第二标记的图像;及若是,依据第二标记在第二图像内的位置,计算工件的二级位置偏差,及依据二级位置偏差对工件的位
       
 
       
         (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113310406 B (45)授权公告日 2023.03.28 (21)申请号 202110586234.9 G01N 21/84 (2006.01) (22)申请日 2021.05
       
 
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