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一个目的是解决由高频线和端接电阻之间的阻抗失配引起的光调制器的高频特性的劣化。半导体马赫‑曾德尔光调制器包括输入侧引出线(20~23)、相位调制电极线(24~27)、输出侧引出线(28~31)、将通过相位调制电极线(24~27)传播的调制信号施加到各个波导(16~19)的电极(32~35),以及接地线(48~50)。此外,在衬底和输出侧引出线(28~31)下方的下层中的介电层之间,沿输出侧引出线(28~31)间断地形成至少一个n型半导体层或p型半导体层。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113316740 A
(43)申请公布日 2021.08.27
(21)申请号 202080009448.3 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任
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