GB/T 10067.417-2023电热和电磁处理装置基本技术条件　第417部分：碳化硅单晶生长装置.pdf

ICS25.180.10 CCSK61 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT10067.417 2023 电热和电磁处理装置基本技术条件 : 第417部分 碳化硅单晶生长装置 Basicsecificationsforelectroheatin andelectromanetic rocessin p g g p g — : installations Part417Siliconcarbidecrstalrowthinstallations y g 2023-05-23发布 2023-12-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 国家标准化管理委员会 / — GBT10067.417 2023 目 次 前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅲ 引言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅴ 1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1 2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1 3 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 1 4 产品分类 ………………………………………………………………………………………………… 2 4.1 型号参数 …………………………………………………………………………………………… 2 、 ……………………………………………………………………… 4.2 单晶炉形式 加热方法及代号 2 4.3 主要参数 …………………………………………………………………………………………… 3 5 技术要求 ………………………………………………………………………………………………… 3 5.1 总体要求 …………………………………………………………………………………………… 3 5.2 设计和制造的补充要求 …………………………………………………………………………… 4 5.3 性能要求 …………………………………………………………………………………………… 6 5.4 成套要求 …………………………………………………………………………………………… 7 6 试验方法 ………………………………………………………………………………………………… 7 6.1 一般要求 …………………………………………………………………………………………… 7 6.2 压升率的测量 ……………………………………………………………………………………… 7 6.3 炉温稳定度的测量 ………………………………………………………………………………… 7 6.4 运动