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本发明提供了一种MEMS驱动器件及其形成方法。通过在第一衬底或第二衬底上设置固定件，以用于在刻蚀形成可动梳齿结构的过程中，固定微机械结构进而限制可动梳齿结构中的各个梳齿发生扭转，改善梳齿侧壁受到刻蚀损伤的问题。并且，在第一衬底上对应于微机械结构还设置有止挡件，该止挡件可用于限制微机械结构的最大扭转角度，以防止在外力冲击下微机械结构发生断裂的问题。
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113233411 A (43)申请公布日 2021.08.10 (21)申请号 202110485548.X (22)申请日 2021.04.30 (71)申请人 中芯集成电路制造（绍兴）有限公司
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