一种二维解耦力触觉传感器及MEMS制备方法.pdfVIP

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2023-06-16 发布于四川
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一种二维解耦力触觉传感器及MEMS制备方法.pdf

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一种二维解耦力触觉传感器，包括玻璃基底和设于玻璃基底上的敏感块；以敏感块的中心为原点、长宽作为XY轴，敏感块的X轴正向方和Y轴正方向均设有位移电极组件，敏感块的X轴负方向和Y轴负方向均设有支撑组件；位移电极组件包括位移基板、弹性梁和支撑侧台，位移基板设有上电极；玻璃基底内与位移电极组件相应的位置均设有底部电极，上电极与相应的底部电极形成平行板电容器；敏感块受力可使位移基板产生位移，从而改变平行板电容器的电容值。本发明的传感器体积小，对于二维力的检测的灵敏度高。通过受力时的因位移基板的位移造成平行

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113237595 B (45)授权公告日 2022.04.08 (21)申请号 202110499197.8 CN 108731849 A,2018.11.02