曝光装置、平板显示器的制造方法、元件制造方法、及曝光方法.pdfVIP

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2023-06-16 发布于四川
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曝光装置、平板显示器的制造方法、元件制造方法、及曝光方法.pdf

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一种液晶曝光装置，其使由非接触固定器(32)非接触地支撑的基板(P)相对于投影光学系统而相对移动，从而相对于基板(P)进行扫描曝光，所述液晶曝光装置包括：保持垫(10044)，保持位于非接触固定器(32)的上方的第1位置的基板(P)的一部分；吸附垫，保持基板(P)的其他部分；第1驱动部，于基板(P)位于第1位置并由吸附垫保持的状态下，使保持垫(10044)自基板(P)的下方朝与上下方向交叉的方向相对移动；以及第2驱动部，使保持基板(P)的第2保持部朝基板(P)非接触地支撑于非接触固定器(32)的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113238461 A (43)申请公布日 2021.08.10 (21)申请号 202110485378.5 H01L 21/68 (2006.01) (22)申请日 2