一种化学机械抛光后清洗液的制备方法.pdfVIP

下载本文档

2
0
约1.48万字
约 14页
2023-06-15 发布于四川
举报
版权申诉

一种化学机械抛光后清洗液的制备方法.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明公开了一种化学机械抛光后清洗液的制备方法。本发明提供了一种清洗液的制备方法。本发明的清洗液的制备方法为：将清洗液的原料混合，即可，清洗液的原料包括下列质量分数的组分：0.01％‑25％强碱、0.01％‑30％醇胺、0.001％‑1％抗氧化物、0.01％‑0.1％杂环化合物、0.01％‑10％缓蚀剂、0.01％‑10％螯合剂、0.01％‑5％表面活性剂和14％‑75％水，各组分质量分数之和为100％；其中，杂环化合物为嘧菌腙和三环唑，嘧菌腙和三环唑的质量比为9:1。本发明的制备方法得到的清洗

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113151837 B (45)授权公告日 2022.08.05 (21)申请号 202110461580.4 (56)对比文件