一种封闭式全金刚石微槽道热沉的制备方法.pdfVIP

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2023-06-15 发布于四川
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一种封闭式全金刚石微槽道热沉的制备方法.pdf

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一种封闭式全金刚石微槽道热沉的制备方法，属于半导体器件散热领域。基于直流电弧等离子体喷射CVD制备的高质量自支撑金刚石厚板，采用精准激光加工对其进行高低交错翅片结构雕刻成型。接着将钼丝置于低位翅片上，以填补低位翅片与高位翅片的高度差及高位翅片的横向间距。随后经过金刚石生长直至覆盖整个金刚石板并具有一定厚度。最终通过去除钼丝而获得封闭式全金刚石微槽道热沉。本发明所用金刚石厚板生长速度快、厚板均匀致密，质量优异。封闭式全金刚石微槽道换热能力强，能够大幅提升热沉部件的散热性能和应用场景多样性，以实现大

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113161307 B (45)授权公告日 2021.12.31 (21)申请号 202110431336.3 (51)Int.Cl.