一种高防潮性稳定的室温气体传感器制备方法.pdfVIP

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2023-06-15 发布于四川
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一种高防潮性稳定的室温气体传感器制备方法.pdf

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本发明是一种高防潮性稳定的室温气体传感器制备方法，利用高掺杂硅作衬底层（1），二氧化硅作绝缘层（2），聚苯乙烯作修饰层（3），连续快速生长六噻吩超薄诱导层（4）和酞菁锌有机纳晶（5）构成气体敏感层。在有机纳晶上利用热蒸发生长超薄PMMA防水涂层（6），最后再蒸镀银作为金属电极。利用酞菁锌有机纳晶（5）实现对NO2气体的高吸附性，PMMA防水涂层（6）实现器件的高防潮性。该法制备的气体传感器具有较强的防水性能，防止水分子进入传感器内部，并且具有高的敏感性能，可以实现室温下在不同的相对湿度环境中对有

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113147106 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 202110301758.9 (22)申请日 2021.03.22 (71)申请人长春