一种压阻式压力传感器信号处理模块及其集成方法.pdfVIP

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2023-06-15 发布于四川
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一种压阻式压力传感器信号处理模块及其集成方法.pdf

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本发明公开了一种压阻式压力传感器信号处理模块及其集成方法。包括电压转换单元和信号处理单元，电压转换单元包括稳压器和薄膜电阻块，信号处理单元包括内置温度传感器的裸芯片、LTCC基板和外壳，稳压器和薄膜电阻块设于LTCC基板正面；LTCC基板上设有通腔，LTCC基板背面设有盲腔，盲腔内埋置有电容；外壳内部设有异型凸台结构，外壳底面上设有外壳引脚；LTCC基板通过通腔套置于外壳内部的异型凸台结构；裸芯片设置于异型凸台结构的表面，裸芯片通过键合丝与LTCC基板连接。所述压阻式压力传感器信号处理模块通过立

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113155348 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 202110218233.9 (22)申请日 2021.02.26 (71)申请人西安微电子技术研究所