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本发明公开了一种无尘室高速线性传输装置,包括非接触式轴电机和线性驱动器,所述非接触式轴电机包括固定磁性轴和磁线圈,所述固定磁性轴安装在线性传输装置两侧的夹具上;所述线性驱动器与所述非接触式轴电机连接,以给所述磁线圈提供坚固的滑动支持以使所述磁线圈与所述固定磁性轴保持非接触运动,避免了共振,使得所述线性驱动器能保持较高的速度和较长的行程;所述磁线圈为所述非接触式轴电机提供动力以纵向驱动所述线性驱动器实现预设速度、预设加速度和预定的行程,使得所述线性驱动器实现了在无尘室环境下进行高速和高精度运动,能
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113161274 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 202110370150.1 (22)申请日 2021.04.07 (71)申请人 FA自动化系统有限公司
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