一种籽晶的铺设方法、单晶硅锭的铸造方法和单晶硅片.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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一种籽晶的铺设方法、单晶硅锭的铸造方法和单晶硅片.pdf

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本申请提供了一种籽晶的铺设方法，包括：提供坩埚、多个第一籽晶和多个第二籽晶，所述第一籽晶和所述第二籽晶的生长面为同一晶向族，均为；在所述坩埚底部交替拼接铺设所述第一籽晶和所述第二籽晶，形成籽晶层，其中，所述籽晶层包括至少一个2×2矩阵单元，在同一矩阵单元的对角线方向上的两个第一籽晶的生长面晶向相反，在同一矩阵单元的对角线方向上的两个第二籽晶的生长面的晶向相反，所述第一籽晶和所述第二籽晶的侧面晶向具有夹角。通过本申请提供的籽晶铺设方法，使得籽晶与其周围籽晶之间侧面晶向均存在夹角，在制备单

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113122913 B (45)授权公告日 2022.08.23 (21)申请号 202010027396.4 (51)Int.Cl.