一种散射测量装置及散射测量方法.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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一种散射测量装置及散射测量方法.pdf

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本发明实施例公开了一种散射测量装置及散射测量方法。散射测量装置包括光源、光束传输模块、镜头、相位补偿模块、运动台、焦面测量模块及散射测量模块；光源提供照明光束；光束传输模块将照明光束分为第一光束和第二光束；运动台承载待测物体，带动待测物体在第一平面内扫描；相位补偿模块对第二光束进行相位调制，并形成第三光束；光束传输模块接收信号光束并分束；焦面测量模块接收第三光束和第一信号光束，并计算待测物体的焦面偏离程度；散射测量模块接收第二信号光束，并计算待测物体的关键尺寸或套刻误差。本发明实施例的技术方案，

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113124751 B (45)授权公告日 2022.07.29 (21)申请号 201911421040.2 (56)对比文件 (22)申请日 2019.12.31