一种等离子体约束结构及其制造方法、等离子体处理装置.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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一种等离子体约束结构及其制造方法、等离子体处理装置.pdf

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本发明提供一种等离子体约束结构及其制造方法、等离子体处理装置，其中等离子体约束结构可以包括接地环和在接地环上设置的约束环，接地环和与约束环之间形成有绝缘层，接地环中形成有多个第一通道，约束环中形成有多个第二通道，第一通道和第二通道连通，第一通道和第二通道不在同一条直线上，在约束环上形成有等离子体时，等离子体可以通过第二通道进入约束环，通过约束环可以对其上的等离子体进行约束，由于第一通道和第二通道不在同一条直线上，第一通道和第二通道作为等离子体通道时，其通道的长度有所增大，等离子体与第一通道和第二

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113130282 A (43)申请公布日 2021.07.16 (21)申请号 20191