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一种用于监测由多图案化处理形成的第一纳米结构的方法，该方法可包含：执行第一多个测量以提供第一多个测量结果；其中执行该第一多个测量包含：由具有不同的倾斜角的倾斜的带电粒子束来照射该第一纳米结构的第一侧壁的第一多个位置；以及通过硬件处理器来处理该第一多个测量结果，以确定该第一纳米结构的第一属性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113169085 B (45)授权公告日 2021.12.28 (21)申请号 201980008042.0 (72)发明人 S ·利瓦伊 I ·施瓦茨班德
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