一种酚类化合物以及制备方法和应用、光刻胶.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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一种酚类化合物以及制备方法和应用、光刻胶.pdf

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本申请提供一种酚类化合物以及制备方法和应用、光刻胶，属于光刻技术领域。本申请的酚类化合物能够对光刻胶的分辨率进行改善，同时使得光刻胶具有较好的光刻性能，具体表现为较好的感光度、更大的对比度、侧壁角较垂直的形貌及更大的工艺窗口。光刻胶包括10～30wt％酚醛树脂、2～10wt％重氮萘醌感光剂、0.1～5wt％流平剂、40～80wt％溶剂和0.1～10wt％酚类化合物。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113105330 A (43)申请公布日 2021.07.13 (21)申请号 202110409013.4 C07C 68/06 (2020.01)