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本发明涉及蚀刻生产线的领域，尤其涉及一种连续蚀刻生产线的收料设备，包括本体和至少一组用于收料的料盘装置，料盘装置位于本体上并与本体相连接，以料带的运行方向为前方，在本体的后方设置有控制收料工作快慢启停的感应模组，本体上设置有位于料盘装置上方的料盘更换装置。本发明设置上极限感应和下极限感应，能够感应运行中的料带在框架中的位置，判断料带的输送速度的快慢，从而上极限感应和下极限感应将感应的料带的位置传输给传感器，通过传感器控制驱动电机的启停、速度快慢来实时调节料材卷绕的输送速度，使料带之间张力均匀，提
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113135452 A (43)申请公布日 2021.07.20 (21)申请号 202110459086.4 H01L 21/677 (2006.01) (22)申请日
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