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本发明公开了一种新型自组装分形结构硫化钨材料及其制备方法,包括如下步骤:(1)将硫源、钨源分别放置于石英舟中,然后将清洗干净的SiO2/Si衬底倒置扣在装有钨源的石英舟表面;(2)取一两端开口的石英管,将装有硫源的石英舟和装有钨源的石英舟放置于石英管内,然后将石英管放入CVD炉膛中,随之封闭炉体;(3)在保护气体条件下,以氢气为催化气体,采用CVD法制得硫化钨材料。本发明通过控制两源间距、样品生长时间及温度、载流气体的种类及流速等影响WS2薄膜生长的主要因素,制得一种新型的自组装分形结构WS2薄
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113136560 A (43)申请公布日 2021.07.20 (21)申请号 202110452198.7 (22)申请日 2021.04.25 (71)申请人 中国科学院重庆绿色智能技术研究
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