化学增幅型正型感光性树脂组合物及其应用.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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化学增幅型正型感光性树脂组合物及其应用.pdf

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本发明提供一种化学增幅型正型感光性树脂组合物及其应用，该化学增幅型正型感光性树脂组合物包含一第一树脂(A1)、一第二树脂(A2)、一光酸产生剂(B)、一溶剂(C)、一式(6)或式(7)所示的化合物(D)及一式(e1)所示的受阻胺化合物(E)，且其所制得的保护膜具有感度及经时安定性佳的优点。本发明另关于该化学增幅型正型感光性树脂组合物所制得的保护膜及包含该保护膜的组件。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113126435 A (43)申请公布日 2021.07.16 (21)申请号 202011481983.7 (22)申请日 2020.12.16 (30)优先权数据 108148406