电容器阵列、存储器单元阵列、形成电容器阵列的方法及形成存储器单元阵列的方法.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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电容器阵列、存储器单元阵列、形成电容器阵列的方法及形成存储器单元阵列的方法.pdf

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一种形成电容器阵列的方法包括形成多个水平间隔开的群组，所述多个水平间隔开的群组个别地包括上方具有电容器绝缘体的多个水平间隔开的下部电容器电极。所述群组中的邻近者比所述群组内的所述下部电容器电极中的邻近者水平间隔开更远。空隙空间位于所述邻近群组之间。在所述空隙空间中以及在所述群组中在所述电容器绝缘体及所述下部电容器电极上方形成上部电容器电极材料。所述空隙空间中的所述上部电容器电极材料与所述邻近群组中的所述上部电容器电极材料相对于彼此连接。所述上部电容器电极材料未填满所述空隙空间。从所述空隙空间移除

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113169168 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 201980080905.5 (74)专利代理机构北京律盟知识产权代理有限