一种半导体器件制备过程的监控系统及方法.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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一种半导体器件制备过程的监控系统及方法.pdf

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本发明公开了一种半导体器件制备过程的监控系统及方法，包括控制主机、监控终端、云平台，所述控制主机分别与反馈模块、数据处理模块、数据存储模块连接；所述控制主机与监控终端连接，所述控制主机与云平台进行数据传输，所述监控终端设有视频模块,本系统可以对半导体器件制备过程进行监控，保证半导体器件制备的顺利，节约成本，全方面监控，减少人力。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113140479 A (43)申请公布日 2021.07.20 (21)申请号 20201