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本文提供了处理配件的实施方式。在一些实施方式中,一种处理配件包括:沉积环,沉积环被配置为设置在基板支撑件上,沉积环包括:环形带,环形带被配置为置放在基板支撑件的下凸缘上,环形带具有上表面和下表面,下表面在径向内部和径向外部之间包括台阶;内唇部,内唇部从环形带的上表面向上延伸并与环形带的内表面相邻,其中环形带的上表面与内唇部的上表面的水平部分之间的深度在约6.0mm至约12.0mm之间;通道,通道设置在环形带的径向外侧和下方;及外唇部,外唇部向上延伸并设置在通道的径向外侧。
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113166927 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 201980083200.9 (74)专利代理机构 北京律诚同业知识产权代理
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