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一种液体供应系统,微影技术包含储存制程化学流体的储存槽、防撞框架以及集成感测器组件。储存槽包含位于储存槽在重力方向上的最下部分的分配口。防撞框架连接至储存槽。集成感测器组件设置在防撞框架以及储存槽的至少一个上,以测量因应流体品质测量的流体品质的变化。
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113120442 A (43)申请公布日 2021.07.16 (21)申请号 202011619308.6 B65D 90/20 (2006.01)
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