阻抗测量元件、阻抗匹配器、射频电源及半导体工艺设备.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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阻抗测量元件、阻抗匹配器、射频电源及半导体工艺设备.pdf

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本申请提供一种阻抗测量元件、阻抗匹配器、射频电源及半导体工艺设备，该阻抗测量元件应用于射频传输线路，包括数据采集单元、数据处理单元及阻抗计算单元，其中，数据采集单元用于采集射频传输线路的电压数据、电流数据、前向功率数据及反射功率数据；数据处理单元分别与数据采集单元和阻抗计算单元连接，用于对电压数据、电流数据、前向功率数据及反射功率数据进行数据处理，以得到电压波与电流波的幅值信号、相位信号及功率反射系数信号；阻抗计算单元用于根据幅值信号、相位信号及功率反射系数信号确定射频传输线路的阻抗。应用本申请

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113138309 A (43)申请公布日 2021.07.20 (21)申请号 202110442256.8 (22)申请日 2021.04.23 (71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司