一种谐振器及其制造方法.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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一种谐振器及其制造方法.pdf

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本发明提供了一种谐振器及其制造方法。该谐振器利用凹槽来形成布拉格反射镜，可以实现高声波阻抗层在不通过蚀刻的方式实现对应于压电部件功能区，以此，防止压电部件的第一电极或第二电极与金属材质的高声波阻抗层产生寄生电容；特别的，本发明的凹槽具有倾斜的侧壁且还可以具有台阶部，这样形成谐振开口可以防止支撑层断裂，保证器件的可靠性，同时能够抵抗来自平坦层应力。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113114148 A (43)申请公布日 2021.07.13 (21)申请号 202110512192.4 (22)申请日 2021.05.11 (71)申请人苏州福唐智能科技有限公司