一种基于检测模态驱动频率上下边带功率对称性的MEMS陀螺仪模态匹配算法.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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一种基于检测模态驱动频率上下边带功率对称性的MEMS陀螺仪模态匹配算法.pdf

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本发明涉及一种基于检测模态驱动频率上下边带功率对称性的MEMS陀螺仪模态匹配算法，该系统包括信号处理模块和控制模块，通过调整陀螺仪检测模态的检测频率实现模态匹配；在陀螺仪正常工作状态下，对检测模态的输出信号进行采样，并将采样信号输入信号处理模块；采样信号经过低通滤波和降采样后，通过上下边带滤波分别得到检测模态中驱动频率两侧信号，比较两信号功率大小；控制模块通过两信号功率差值的正负情况，输出控制信号反馈到陀螺仪检测模态的调谐电极，由此控制检测模态的检测频率。本发明在不影响MEMS陀螺仪正常工作的前

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113108812 A (43)申请公布日 2021.07.13 (21)申请号 202110407731.8 (22)申请日 2021.04.15 (71)申请人东南大学地址 21