一种空化射流喷嘴及具有该喷嘴的晶圆处理装置.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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一种空化射流喷嘴及具有该喷嘴的晶圆处理装置.pdf

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一种用于晶圆制造中后清洗的空化射流喷嘴，包括喷嘴主体，喷嘴主体中设有进水腔、谐振腔、出水腔和分岔通道；所述谐振腔位于进水腔和出水腔之间，两端分别与进水腔和出水腔连通；所述进水腔和出水腔为圆台形空腔，圆台较小的底面均与谐振腔连通；所述出水腔侧壁与至少一个分岔通道连通；所述分岔通道将所述出水腔与外部气源连通。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113118951 A (43)申请公布日 2021.07.16 (21)申请号 201911402067.7 (22)申请日 2019.12.31 (71)申请人清华大学地址 10