一种高品质因数的薄膜体声波谐振器.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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一种高品质因数的薄膜体声波谐振器.pdf

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本发明涉及一种高品质因数的薄膜体声波谐振器，包括上表面带有凹槽2的衬底1、位于衬底1上方的底电极层3、压电层4、带有空气桥结构6的顶电极层5，其特征在于，所述空气桥结构6内设有可起到对横向声波回弹作用并提升薄膜体声波谐振器品质因数的声回弹结构7；所述声回弹结构7的材质为薄膜介质；所述声回弹结构7为与空气桥结构6的桥腔相向的多面体并以卧式紧贴在压电层4的上方，声回弹结构7的上方与空气桥结构6的桥腔悬空结构之间留有空气间隙8，所述声回弹结构7的左侧面和右侧面分别与空气桥结构6的桥腔支撑结构相邻的内侧

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113131895 B (45)授权公告日 2022.07.29 (21)申请号 201911393848.4 H03H 9/02 (2006.01)