用于光刻系统的螺旋式紫外光源装置.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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用于光刻系统的螺旋式紫外光源装置.pdf

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一种用于光刻系统的螺旋式紫外光源装置，其包含壳体、紫外光源及反射镜组。壳体具有起始点及出口。紫外光源设置于起始点，并产生紫外光。反射镜组设置于壳体内，并包含多个反射镜，所述多个反射镜沿螺旋路径设置，使所述多个反射镜分布于螺旋路径。其中，所述多个反射镜的中心及紫外光源的中心实质上位于同一平面，且所述多个反射镜相继反射紫外光，使紫外光沿螺旋路径传送，并由出口离开壳体。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113126445 A (43)申请公布日 2021.07.16 (21)申请号 202011424542.3 (22)申请日 2020.12.08 (30)优先权数据 62/955,52