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本发明的目的是提供一种促进剂组合物在去除铜大马士革工艺中氮化钛的应用,促进剂组合物包括:氧化剂、多元醇以及纯水。所述组合物在酸性、接近中性以及碱性体系中均可提高氮化钛的去除速率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113122267 A (43)申请公布日 2021.07.16 (21)申请号 20191
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