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本发明公开了一种化学机械抛光液,包括:复合研磨颗粒、氧化剂和水,其中,所述复合研磨颗粒为选自二氧化铈、二氧化钛、二氧化锰和三氧化二铝中的两种或多种金属氧化物相互包覆的复合氧化物颗粒。本发明中的化学机械抛光液具有较高的含碳材料的去除速率,可用于含碳材料的化学机械抛光。
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113122146 A (43)申请公布日 2021.07.16 (21)申请号 20191
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