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本公开提供叠对误差测量方法及叠对误差测量结构，具体地，提供一种叠对误差测量方法，其包含在基板上设置下层图案，设置下层图案包含沿着第一方向设置在第一间隔延伸的具第一多个第一子图案的第一图案，且在交叉第一方向的第二方向安排为第一间距。此方法包含沿着第一方向设置在第二间隔延伸的具第二多个第二子图案的第二图案，且在交叉第一方向的第二方向安排为小于第一间距的第二间距。第二子图案交错设置在第一子图案之间。此方法包含设置上层图案，上层图案包含第三图案，第三图案具第一间距且至少在下层图案上方与下层图案局部重叠以
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