一种制作电热式MEMS驱动臂的方法及电热式MEMS驱动臂.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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一种制作电热式MEMS驱动臂的方法及电热式MEMS驱动臂.pdf

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一种制作电热式MEMS驱动臂的方法，包括如下步骤：1）、选择高阻硅作为衬底；2）、在衬底上进行图形化，形成预先设计的导电回路图形的掩模；3）、使用注入法或扩散法对衬底进行掺杂，形成导电回路，该导电回路作为加热电阻层；4）、在加热电阻层上制作绝缘材料作为绝缘层；5）、在绝缘层上制作高热膨胀系数的材料作为第一结构层；6）、刻蚀衬底的底部，留下设定厚度的高阻硅作为第二结构层；7）、在衬底的上部按照预先设计的MEMS驱动臂形状进行正面图形化刻蚀；最终完成该电热式MEMS驱动臂的制作。优点：硅既作为结构层

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113120848 A (43)申请公布日 2021.07.16 (21)申请号 20191