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本发明公开了一种半导体制造用空中自动搬送装置,包括导轨和移动车,所述导轨包括纵段和横段,所述纵段和横段中设置有通过槽,所述通过槽的底部设置有一对水平设置的支撑板,所述移动车上的滚轮放置在支撑板上,所述移动车包括底板,所述底板的四个拐角处各转动连接有一转轴,所述底板的四个拐角处各设置有一转向装置,所述转向装置与转轴驱动连接,所述转轴的底部固定连接有座盘,所述座盘上固定连接有轮座,所述滚轮转动连接在轮座上,所述轮座上设置有驱动装置,所述驱动装置与滚轮驱动连接,所述底板下方通过一组连接杆固定连接有货箱
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113113341 A (43)申请公布日 2021.07.13 (21)申请号 202110576621.4 (22)申请日 2021.05.26 (71)申请人 苏州谷乐伯机电科技有限公司
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