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本申请提供一种散热器件及其制造方法，待散热部件与蒸发区域接触，蒸发腔内的冷却液受热汽化形成蒸汽，通过蒸汽传出管道传输至冷凝区域的冷凝腔内液化为液体，蒸发腔由于液体减少且气体传出，气压降低，冷凝腔内的冷却液在压强作用下通过冷凝液体回流管道流向蒸发腔，实现散热器件内部冷却液的自循环。由此可见，本申请实施例是通过气压变化实现液体的循环散热，无需均热板中通过真空腔室和毛细管道进行液体散热循环，相较于利用毛细管道，本申请实施例的冷凝液体回流管道和蒸汽传出管道可以具有更大的尺寸，降低制造工艺的成本。
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113133283 A (43)申请公布日 2021.07.16 (21)申请号 202110395385.6 (22)申请日 2021.04.13 (71)申请人 上海天马微电子有限公司
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