乙硅烷制备设备和制备方法.pdfVIP

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2023-06-13 发布于四川
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本发明提供了一种乙硅烷制备设备和制备方法。根据本发明实施例的乙硅烷制备设备包括加热装置，加热装置具有第一进气口和第一出气口；催化脱氢反应器，催化脱氢反应器具有第二进气口和第二出气口；深冷装置，深冷装置具有第三进气口、第三出液口和第三废气出口；脱轻分离塔，脱轻分离塔具有第四进料口、第四出气口和第四出液口；吸附装置,吸附装置具有第五进料口和第五出料口；和脱重分离塔,脱重分离塔具有第六进料口、第六出气口和第六出液口。因此，根据本发明实施例的乙硅烷制备设备具有乙硅烷的转化率高、生产效率高、减少资源浪费和

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113083166 A (43)申请公布日 2021.07.09 (21)申请号 202110280743.9 (22)申请日 2021.03.16 (71)申请人洛阳中硅高科技有限公司