半导体器件生产用的电气元件制造装置及制造方法.pdfVIP

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2023-06-13 发布于四川
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半导体器件生产用的电气元件制造装置及制造方法.pdf

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本发明公开了半导体器件生产用的电气元件制造装置及制造方法，属于半导体制造技术领域，半导体器件生产用的电气元件制造装置，包括箱体和加工产品，还包括：存放罐和水箱，均位于箱体内；机械手臂，位于箱体顶部；涂抹头，连接在机械手臂的输出端，通过涂抹头对加工产品进行涂抹，涂抹头与存放罐之间通过出料管输送；出料管在输送过程中通过水箱内的热水进行保温；箱体顶部设有带有静电的吸附体；与市场上现有的半导体器件生产用的电气元件制造装置相比，本半导体器件生产用的电气元件制造装置，在涂抹完成后，还可以利用给光刻胶进行保温

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113078082 B (45)授权公告日 2021.08.13 (21)申请号 202110636226.0 G03F 7/16 (2006.01) (22)申请日 2