失效分析样品的制作方法及失效分析样品.pdfVIP

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2023-06-12 发布于四川
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失效分析样品的制作方法及失效分析样品.pdf

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本公开实施例公开了一种失效分析样品的制作方法。所述方法包括：提供待测管芯；其中，所述待测管芯包括相对设置的正面和背面，所述待测管芯的正面通过第一胶层与第一基板之间粘接；将所述待测管芯的背面通过第二胶层与第二基板固定连接；其中，所述第二胶层的固化温度小于所述第一胶层的熔化温度，所述第二胶层的熔化温度大于所述第一胶层的熔化温度；在所述待测管芯的背面粘接有所述第二基板后，分离所述第一基板和所述待测管芯。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113030706 B (45)授权公告日 2021.11.23 (21)申请号 202110269001.6 (56)对比文件 (22)申请日 2021.03.12