一种平滑微透镜结构表面的制备方法.pdfVIP

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2023-06-12 发布于四川
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一种平滑微透镜结构表面的制备方法.pdf

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本发明提供了一种平滑微透镜结构表面的制备方法，应用于平滑微透镜结构表面的制备系统，所述制备系统包括：曝光光源，沿曝光光线照射方向顺次设置有匀光准直元件、DMD芯片、投影物镜以及三维精密平台，还包括机械振动辅助机构，用于驱动所述投影物镜产生正弦振动或余弦振动；其中，所述制备方法包括：开启曝光光源，产生曝光光线，匀光准直元件用于将曝光光线处理为均匀光束，投影物镜将所述均匀光束聚焦至三维精密平台的精准曝光位置，以在工件表面生成曝光图形；开启机械振动辅助机构，驱动所述投影物镜产生正弦振动或余弦振动，以模

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113031402 B (45)授权公告日 2022.08.26 (21)申请号 202110265370.8 G03F 7/00 (2006.01) (22)申请日 2021.03.