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本发明提供了一种照明光路、缺陷检测装置及光强测量方法，所述照明光路包括光源和斜射光路，斜射光路的末端设有用于测量光强的光强测量装置，光强测量装置包括探头和探头支架；探头安装于探头支架上，探头支架位于斜射光路的末端；探头支架与一驱动件相连，驱动件用于控制探头支架的转向；当缺陷检测装置处于工作状态时，在驱动件的作用下，探头偏离所述照明光路；当需要测量斜射光路的末端的光强时，在驱动件的作用下，光源发射的光线能够经斜射光路达到探头。本发明提供的光强测量装置避免了手动测量光强，达到了自动化测量光强的目的，
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113008798 A (43)申请公布日 2021.06.22 (21)申请号 202110274241.5 (22)申请日 2021.03.15 (71)申请人 上海华力微电子有限公司
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