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本发明公开了一种NXN光开关，包括N通道扇出波导阵列、功能波导阵列、透镜和MEMS转镜，所述N通道扇出波导阵列和功能波导阵列通过多层叠加形成N+1层波导阵列；所述N通道扇出波导阵列设置有N层，所述功能波导阵列设置有1层，所述透镜和MEMS转镜的数量均为N个，其中，N为整数。通过光波导集成，可以实现NXN光开关尺寸下降、集成度提高、不熔接光纤以及盘纤简单的效果，同时易于实现大通道NXN光开关，极大地提升了光开关的可扩展性和场合适应性，从而解决现有技术中由于全部使用分离器件，所带来的尺寸偏大、盘纤不
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112835145 A (43)申请公布日 2021.05.25 (21)申请号 202110220937.X (22)申请日 2021.02.26 (71)申请人 深圳市欧亿光电技术有限公司
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