复合插入物结构和提供复合插入物结构的方法.pdfVIP

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2023-06-08 发布于四川
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复合插入物结构和提供复合插入物结构的方法.pdf

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用于与插入物的高互连密度通信的技术和机制。在一些实施例中，插入物包括基板和设置在基板上的部分，其中所述部分的相应无机电介质在材料界面处彼此邻接，所述材料界面延伸到基板和插入物的第一侧中的每一个。插入物的第一硬件接口在第一侧处跨越材料界面，其中所述部分中的第一部分包括第一互连，所述第一互连将第一硬件接口在第一侧处耦合到第二硬件接口。所述部分中的第二部分包括第二互连，所述第二互连将第一硬件接口或第二硬件接口中的一个在插入物的另一侧处耦合到第三硬件接口。在另一实施例中，第一硬件接口的金属化节距特征小于

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112864129 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 202011015408.8 H01L 25/18 (2006.01) (22)申请日 2