一种基于人工智能的高带宽芯片含Al材料BH工艺.pdfVIP

一种基于人工智能的高带宽芯片含Al材料BH工艺.pdf

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本发明公开了一种基于人工智能的高带宽芯片含Al材料BH工艺,包括如下步骤:S1获得第一晶圆结构,进行光栅图形制作,以获得第二晶圆结构,进行二次外延生长处理,加入Al材料,得到第三晶圆结构;所述第三晶圆结构进行脊图形处理,得到第四晶圆机构;S3在所述第一晶圆结构、第二晶圆结构、第三晶圆结构和第四晶圆结构上方布设至少两层金属层,作为布线层使用;S4经互联线连接,对第四晶圆结构进行PN限制层生长;S5计算连线间距、线宽、互联线长度;S6集成人工智能通讯芯片;S7外联MPU微处理器模块,制得集成芯片。本

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112864020 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 202011618751.1 (22)申请日 2020.12.31 (71)申请人 上海波汇科技有限公司

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