层叠体及其制造方法.pdfVIP

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2023-06-08 发布于四川
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层叠体及其制造方法.pdf

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本发明的目的在于提供以高的位置精度设置有第1层的新型层叠体及其制造方法。本发明层叠体的浮雕结构形成层具备第1区域和第2区域，所述第1区域具有在俯视下在第1方向或在自第1方向起至向左右10度的方向上延伸的凹凸结构，所述第2区域具有在俯视下在正交于第1方向的第2方向或在自第2方向起至向左右65度的方向上延伸的凹凸结构，第1层含有与浮雕结构形成层的材料不同的第1材料，且具有与浮雕结构形成层的表面形状相对应的表面形状。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112859222 B (45)授权公告日 2022.08.12 (21)申请号 202110073746.5 (51)Int.Cl.