一种光流集成的宽带、高效率多层衍射光学元件及其制备方法.pdfVIP

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2023-06-08 发布于四川
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一种光流集成的宽带、高效率多层衍射光学元件及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种光流集成的宽带、高效率多层衍射光学元件及其制备方法，属于功能型光学元件技术领域，通过调整衍射基元的高度及不同材料衍射层的色散匹配，从而实现宽谱高衍射效率的器件结构设计；多层衍射元件的主体部分是光学树脂SU‑8，与之色散匹配的液体是乙二醇。本发明利用“飞秒激光增材制造”技术制备多层衍射光学元件主体，并通过微流控通道泵入乙二醇液体，最终实现光流集成的宽带高效率的多层衍射光学元件及其制备。本发明制备的多层衍射光学元件在宽的工作范围下具有较高的衍射效率；相比于传统的折射透镜，多层衍射光学

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112859328 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 202110039940.1 (22)申请日 2021.01.13 (71)申请人吉林大学地址 13