一种气相沉积装置及碳/碳复合材料的制备方法.pdfVIP

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2023-06-08 发布于四川
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一种气相沉积装置及碳/碳复合材料的制备方法.pdf

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本申请提供一种气相沉积装置，包括底座、料板、沉积室，沉积室包括外筒体、排气口，以及设于外筒体内的排气套筒；排气套筒包括内筒和套设在内筒外部的套筒，内筒与套筒围合形成气流通道，且套筒的侧壁上设有通气孔；料板上设有第一进气孔，第一进气孔位于套筒和内筒之间；料板上还设有进气结构，进气结构包括进气孔阵列，进气孔阵列以排气套筒为中心呈放射状分布；进气孔阵列远离排气套筒的一侧设有第四进气孔。该设备能够有效控制沉积过程中气体的流动方向，使其与待处理坯体充分接触。另外，本发明还提供一种利用该设备制备碳/碳复合材

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112830807 B (45)授权公告日 2022.05.20 (21)申请号 202110296058.5 C04B 35/622 (2006.01) (22)申请日 2021.0