测试标记及利用该测试标记的光刻机离焦量测量方法.pdfVIP

下载本文档

0
0
约1.85万字
约 21页
2023-06-08 发布于四川
举报
版权申诉

测试标记及利用该测试标记的光刻机离焦量测量方法.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明提供了一种测试标记及利用该测试标记的光刻机离焦量测量方法，所述第一区域的透光区和/或所述第二区域的透光区设置有沿所述预定方向的相移线条，由所述第一区域曝光的图案测得第一关键尺寸，由所述第二区域曝光的图案测得第二关键尺寸，所述相移线条使所述第一关键尺寸和所述第二关键尺寸具有差值。拟合计算出所述第一关键尺寸和所述第二关键尺寸的差值与离焦量的函数关系。能及时判断光刻机曝光的离焦程度，快速判断是否需要重新校准最佳焦面，及时阻止离焦导致的良率降低。在测量CDU时可以接着测量测试标记，无需转移或者重新

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112859556 B (45)授权公告日 2022.04.12 (21)申请号 201911175714.5 G03F 7/20 (2006.01) (22)申请日 2