一种坩埚系统.pdfVIP

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2023-06-08 发布于四川
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一种坩埚系统.pdf

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本发明涉及蒸镀设备技术领域，公开一种坩埚系统，该坩埚系统，包括：坩埚；蒸镀材料表面位置检测单元，用于检测坩埚中的蒸镀材料的表面位置；两个加热单元，其中，一个加热单元用于自坩埚外侧进行加热，另一个加热单元用于自坩埚内侧进行加热；两个加热单元中的至少一个可相对于坩埚沿坩埚的轴线方向移动的安装于坩埚；用于驱动可相对于坩埚移动的加热单元动作的驱动组件；控制单元，控制单元与蒸镀材料表面位置检测单元以及驱动组件信号连接，用于根据蒸镀材料表面位置检测单元检测的蒸镀材料的表面位置信息控制驱动组件动作。从而，确保

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112853272 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 20191