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        本发明属于微电子封装检测分析领域,并具体公开了一种基于散斑结构光的微电子基板翘曲测量方法和系统。该方法具体为:对载物台的参考平面投影散斑图案并带动其上升,以此采集一系列参考图像;载物台归位,将待测微电子基板放置在载物台上加热并投影散斑图案,以此采集变形图像;将变形图像和参考图像进行匹配,选定最接近变形图像偏移值的参考图像为分析图像,进一步求得变形图像精确的整像素和亚像素偏移值,从而获得散斑的实际偏移值,并利用其计算该散斑所在处的面外位移;重复上述步骤,以此得到待测微电子基板的全场面外位移。该方法
       
 
       
         (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112857244 B (45)授权公告日 2021.12.03 (21)申请号 202110053679.0 G01J 5/00 (2006.01) (22)申请日 2
       
 
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